ｇ 線
波長	436 nm
光源	UVランプ

 

i 線
波長	365 nm
光源	UVランプ

 

KrF
波長	248 nm
光源	KrFエキシマレーザー

 

ArF
波長	193 nm
光源	ArFエキシマレーザー

 

EUV
波長	13.5 nm
光源	DPP（放電方式）　LPP（レーザー励起方式）