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MTC製品の特徴
株式会社エムテーシーは、フォトマスク製造装置を主力とする半導体製造装置メーカーです。
（ガラスマスク等への塗布、現像、パターン形成装置、その他）
高い技術力と柔軟な思想で、お客様のニーズに最適な装置を提供いたします。
処理装置のみでなく搬送装置・薬液供給装置も内製しており、
ユーザーの用途に合わせた装置構成が可能
丸型ウェファーと角型基板の兼用処理装置等、特殊なワーク形状等に柔軟に対応
装置の一部モジュールをOEM供給可能
R&D、少量多品種から、ボリュームプロダクションまで柔軟な対応装置構成
装置納入後のメンテナンスのみでなく、プロセスのサポートを含めトータルにサポート可能
納入後装置の改造・アップグレードに柔軟に対応致します。
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| フォトマスク製造関連装置 |
レジスト塗布装置 |
| 現像装置 |
| エッチング装置（ウェット・ドライ） |
| ベーキング装置 |
| レジスト剥離装置 |
| 洗浄装置（ウェット・ドライ） |
| ハンドリング装置 |
| クリーンベンチ |
| ペリクル剥離装置 |
| 半導体製造関連 |
レジスト塗布装置 |
| 現像装置 |
| エッチング装置 |
| ベーキング装置 |
| レジスト剥離装置 |
| 洗浄装置 |
| ハンドリング装置 |
その他製造装置 |
ガラス基板（光学部品）の製造装置（洗浄・ハンドリング） |
| セラミック基板の製造装置（レジスト塗布・洗浄・ハンドリング） |
| MEMS関連装置（レジスト塗布・現像・エッチング等） |
| 特殊用途装置 |
計測装置・その他 |
膜厚測定装置 |
| SMIF POD オープナー (装置接続，卓上型，自立型) |
| ローダー，アンローダー |
| 搬送装置 |
| 薬液調合供給ユニット(硫酸過水・ＳＣ−１・温水・洗剤・etc) |
