ホーム 会社の紹介 ニュース&リリース 製品情報 リンク サイトマップ English
新製品情報 新規開発情報 SMIF Pod オープナー 塗布装置 洗浄装置 パターン形成装置 マスク製造工程
 

製品情報

MTC製品の特徴

株式会社エムテーシーは、フォトマスク製造装置を主力とする半導体製造装置メーカーです。
(ガラスマスク等への塗布、現像、パターン形成装置、その他)
高い技術力と柔軟な思想で、お客様のニーズに最適な装置を提供いたします。

処理装置のみでなく搬送装置・薬液供給装置も内製しており、ユーザーの用途に合わせた装置構成が可能
丸型ウェファーと角型基板の兼用処理装置等、特殊なワーク形状等に柔軟に対応
装置の一部モジュールをOEM供給可能
R&D、少量多品種から、ボリュームプロダクションまで柔軟な対応装置構成
装置納入後のメンテナンスのみでなく、プロセスのサポートを含めトータルにサポート可能
納入後装置の改造・アップグレードに柔軟に対応致します。

フォトマスク製造関連装置 レジスト塗布装置
現像装置
エッチング装置(ウェット・ドライ)
ベーキング装置
レジスト剥離装置
洗浄装置(ウェット・ドライ)
ハンドリング装置
クリーンベンチ
ペリクル剥離装置
半導体製造関連 レジスト塗布装置
現像装置
エッチング装置
ベーキング装置
レジスト剥離装置
洗浄装置
ハンドリング装置
その他製造装置 ガラス基板(光学部品)の製造装置(洗浄・ハンドリング)
セラミック基板の製造装置(レジスト塗布・洗浄・ハンドリング)
MEMS関連装置(レジスト塗布・現像・エッチング等)
特殊用途装置
計測装置・その他 膜厚測定装置
SMIF POD オープナー (装置接続,卓上型,自立型)
ローダー,アンローダー
搬送装置
薬液調合供給ユニット(硫酸過水・SC−1・温水・洗剤・etc)

 


©2011 MTC Co., Ltd.